清华大学微纳加工中心简介
清华大学微纳加工中心作为清华大学校级开放共享服务平台，以服务于学校建设中国特色世界顶级一流大学为目标，瞄准世界微纳加工领域技术前沿，是致力于在国内外基础性、前瞻性、特色性原创成果方面实现重大突破的开放性科研和教学实践育人平台。 Y,!3Nt6+3Na4=7b
中心以微纳尺度为特征，集设计、加工、测试为一体，具备高端先进的微纳加工测试环境，开展的研究领域包括新型微纳电子器件、新型存储器、低维材料、柔性电子器件、微流体、生物芯片、微机电器件与系统（MEMS）等，以材料和工艺技术作为独具特色的主攻领域，为微电子、光电子、MEMS、电子信息、物理、化学、材料、光学、精密仪器、医学、生物等多个学科的发展研究提供支撑。中心秉持“开放”、“共享”原则，坚持科研、育人并重，支持校内外师生在多领域、交叉学科进行学术前沿探索和关键技术攻关，鼓励学生独立动手操作设备开展研究工作，注重培养学生的科研实践能力，平均每年支撑30门本科生、研究生教学课程的开展，是集成电路专业人才培养的重要基地。 i71Hh6.2xp8+7g
微纳加工中心实行7天24小时开放服务，拥有超净面积约1200m2 ，总体为千级，其中包含百级超净间100m2 ；软硬件环境主要包括设计与仿真平台、工艺设备、测试设备三大类，其中微纳加工设备200余台套、测试设备60余台套、EDA软件90多种，设备总资产约3亿元；具备氧化、化学气相沉积、物理气相沉积、化学机械抛光、光刻、电子束光刻、湿法刻蚀、干法刻蚀、封装与集成、检测与分析等全流程工艺能力；中心全职工作的教授、工程师及实验技术人员有30人，其中副高及以上5人，中心老、中、青工程师结合，平均20年专业技术经验，约80%人员具有研究生学历。 H83Bi8!8qw2-3N
微纳加工中心能力体系包括教学支撑能力、对外服务能力、前沿基础研究能力、设计与仿真能力、单步工艺能力、封装及集成能力、分析及表征能力与芯片测试分析能力等八大领域。其中芯片测试分析能力由北京未来芯片技术高精尖创新中心(www.icfc.tsinghua.edu.cn)提供（北京未来芯片技术高精尖创新中心成立于2015年，是北京市教委首批认定的“北京高等学校高精尖创新中心”之一，其部分设备通过了CNAS认证）。 z7~7Al9+3xG3+1B
微纳加工中心2015年被认定为清华大学校级平台，2016年纳入国家“双创”首批示范基地，2018年获批成为国家集成电路“产教融合”创新平台。近年来，微纳加工中心得到了学校、教育部、国家发改委等多个建设项目的支持，在优势资源汇聚、设备开放共享、人才培养支撑、学科交叉融合、产教融合发展、创新成果产出、党建工作引领方面，取得了丰硕成果，陆续获得“清华大学校级先进集体”、“清华大学先进工会小组”、“首都科技条件平台清华大学研发实验服务基地开放服务集体三等奖”、“清华大学实验技术成果奖”、“清华大学校园综合治理先进集体”、“清华大学大型仪器设备使用效益奖”、“清华大学实验室建设与管理一等奖”等多个荣誉奖项。 r1=4pu7:5kN5;1r
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